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J-GLOBAL ID：201202214218756139   整理番号：12A0583178

アモルファスIn₂O₃:H膜の酸素化学量論組成,構造および光電特性の相関

Correlation between oxygen stoichiometry, structure, and opto-electrical properties in amorphous In₂O₃:H films

著者 (7件)： KOIDA Takashi (Res. Center for Photovoltaic Technologies, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Central 2 ...) ,  SHIBATA Hajime (Res. Center for Photovoltaic Technologies, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Central 2 ...) ,  KONDO Michio (Res. Center for Photovoltaic Technologies, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Central 2 ...) ,  TSUTSUMI Koichi (J. A. Woolam Japan Corp., Fuji 2F, 5-22-9, Ogikubo, Suginami, Tokyo 167-0051, JPN) ,  SAKAGUCHI Akio (J. A. Woolam Japan Corp., Fuji 2F, 5-22-9, Ogikubo, Suginami, Tokyo 167-0051, JPN) ,  SUZUKI Michio (J. A. Woolam Japan Corp., Fuji 2F, 5-22-9, Ogikubo, Suginami, Tokyo 167-0051, JPN) ,  FUJIWARA Hiroyuki (Center for Innovative Photovoltaic Systems, Gifu Univ., 1-1, Yanagito, Gifu, 501-1193, JPN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 111  号： 6  ページ： 063721-063721-7  発行年： 2012年03月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Rutherford後方散乱分光(RBS),熱脱離分光,分光エリプソメトリ,およびHall測定により,アモルファスIn₂O₃:H(H:~4at.%)透明導電膜を評価した。アモルファスIn₂O₃:H膜は,Ar,O₂,およびH₂O蒸気の下で流速比r{O₂}=O₂/(O₂+Ar)を変えてIn₂O₃セラミックターゲットのスパッタリングにより室温で作製した。(i)すべての膜のRBSスペクトルにおいてArに起因する信号,また(ii)膜のポスト熱アニールにおけるH₂OとArガスの脱離を見出した。さらに,r(O₂)>0.375%で育成した膜ではH₂OおよびArとともにO₂の脱離が観測される一方,r(O₂)<0.375%で育成した膜では,H₂OおよびArとともにInの脱離が観測された。これらの結果は,膜がアモルファスネットワークの内部に空孔および(または)多価の多い構造を有し,またO₂多量およびO₂少量条件で育成した膜の空孔構造にはAr,H₂Oおよび弱く結合したOとInのような多彩な原子が存在することを示唆する。構造変化に対応して,光学および電気特性もまたr(O₂)=0.375%で変化した。r(O2)<0.375%nで育成した膜では,可視領域に自由キャリア吸収では説明できない広い吸収を見出した。この膜では,キャリア移動度はキャリア密度の増大とともに急速に減少した。分光エリプソメトリとHall測定の解析により,キャリア移動度の大きな減少は,イオン化不純物散乱の効果に加えて,キャリア有効質量の大きな増大によることが明らかになった。本論文では,アモルファスIn₂O₃:H膜における酸素化学量論組成と微細構造の変化に関係する光学および輸送特性について議論した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *酸化インジウム ,  *非晶質 ,  *水素化物 ,  酸素 ,  化学組成 ,  *化学量論 ,  *結晶構造 ,  光学的性質 ,  Rutherford後方散乱 ,  熱脱着スペクトル ,  偏光解析法 ,  Hall移動度 ,  *透明導電膜 ,  水分子 ,  アルゴン ,  蒸気 ,  流速 ,  スパッタリング ,  熱処理 ,  脱着 ,  空格子点 ,  *電気特性 ,  キャリア ,  吸収 ,  キャリア移動度 ,  キャリア密度 ,  キャリア散乱 ,  イオン化 ,  有効質量 ,  微細構造 ,  透過型電子顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  誘電関数 ,  電気抵抗
準シソーラス用語： 自由キャリア ,  脱離 ,  熱脱離スペクトル ,  *非晶質構造 ,  不純物散乱 ,  輸送特性

分類 (1件)： 非晶質・液体金属の電子伝導  (BM03032V)

タイトルに関連する用語 (5件)： アモルファス ,  酸素 ,  化学量論組成 ,  光電特性 ,  相関