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J-GLOBAL ID：201202216062405236   整理番号：12A0785063

サブ波長構造の低反射透明導電性酸化物薄膜のロールツーロール製造

Roll-to-roll fabrication of a low-reflectance transparent conducting oxide film with subwavelength structures

著者 (4件)： CHOU Ta-Hsin (Industrial Technol. Res. Inst., Hsinchu, TWN) ,  CHENG Kuei-Yuan (Industrial Technol. Res. Inst., Hsinchu, TWN) ,  HSIEH Chih-Wei (Industrial Technol. Res. Inst., Hsinchu, TWN) ,  TAKAYA Yasuhiro (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 4  ページ： 045009,1-7  発行年： 2012年04月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透明導電性酸化物(TCO)薄膜は,フラットパネルディスプレイ,電子ペーパーやタッチパネルなどの多くの光エレクトロニクス製品に透明電極として使われている。しかし,一般に使われるITOは特に屋外で使用する場合,屈折率が大きく界面材料間の反射率が大きいのが問題である。本稿では,基板上にサブ波長構造を最初に作り,このサブ波長構造上にITOを堆積させ,最後にロールツーロール方式でITOの両面に不均一表面を作る。このようにして製作したITO膜の反射率は10%以下で抵抗は100Ω/□であった。この膜はタッチパネルアプリケーションに適している。

シソーラス用語： 化合物半導体 ,  酸化物 ,  酸化インジウムスズ ,  フラットパネルディスプレイ ,  入力装置 ,  パネル ,  周期構造 ,  回折格子 ,  生産方式 ,  *反射率 ,  屈折率 ,  透明電極
準シソーラス用語： ITO ,  サブ波長構造 ,  タッチパネル ,  *ロール・ツー・ロール方式 ,  *透明導電性酸化物

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： サブ波長構造 ,  透明導電性酸化物 ,  薄膜 ,  ロールツーロール