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J-GLOBAL ID:201202216158539241   整理番号:12A0721786

ミリ波CMOS回路設計のための接触位置のミスアラインメントを考慮したL-2Lで方法の評価

Evaluation of L-2L De-Embedding Method Considering Misalignment of Contact Position for Millimeter-Wave CMOS Circuit Design
著者 (4件):
資料名:
巻: E95-C  号:ページ: 942-948 (J-STAGE)  発行年: 2012年 
JST資料番号: L1370A  ISSN: 0916-8524  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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この報告書は接触位置のミスアラインメントでのL-2Lデエンベディング方法の評価を提示する。接触位置のミスアラインメントの問題が調査される。L-2Lデエンベディング手続きにおけるミスアラインメントの分析が実行される。2つの比較が,L-2Lデエンベディング方法の誤差について確かめるために行われる。伝送路のQファクタの計算誤差百分率は9.0%までになる。一方,トランジスタSパラメータ誤差割合が実験結果で60GHzで21%までになる。結果は,接触位置のミスアラインメントによって引き起こされた計測誤差が,慎重に考慮されるべきであるのを示している。(翻訳著者抄録)
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分類 (2件):
分類
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マイクロ波・ミリ波通信  ,  半導体集積回路 
引用文献 (18件):

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