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J-GLOBAL ID：201202216856111024   整理番号：12A1738477

気体NH₃環境における電子ビーム誘起化学ドライエッチングおよびイメージング

Electron beam induced chemical dry etching and imaging in gaseous NH3 environments

著者 (4件)： LOBO Charlene J (Univ. Technol., New South Wales, AUS) ,  MARTIN Aiden (Univ. Technol., New South Wales, AUS) ,  PHILLIPS Matthew R (Univ. Technol., New South Wales, AUS) ,  TOTH Milos (Univ. Technol., New South Wales, AUS)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 37  ページ： 375302,1-7  発行年： 2012年09月21日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭素のナノスケール電子ビーム誘起エッチング(EBIE)のための新しい前駆物質として,そして環境制御型走査電子顕微鏡(ESEM)用の効率の良いイメージング媒体として,アンモニア(NH₃)蒸気を使用する方法を実証した。また,電子ビーム誘起蒸着(EBID)により成長させアモルファス炭素ナノワイヤを使用して,そのエッチングを実証した。そのエッチングのメカニズムはNH₃の電子誘起解離により形成された吸着水素に伴う反応によるCH₃基の除去などを含む。このエッチングは高い材料選択性があり,ナノ結晶ダイヤモンドを揮発させない。さらに,アンモニアが,今日まで最も一般的に使用されているESEMイメージングガスであり,H₂Oよりも有効なイメージング媒体であることを示した。

シソーラス用語： *ドライエッチング ,  走査電子顕微鏡 ,  画像技術 ,  アンモニア ,  *電子ビーム ,  電子ビーム蒸着
準シソーラス用語： ESEM ,  ESEM【顕微鏡】 ,  イメージング技術

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X)

タイトルに関連する用語 (8件)： 気体 ,  NH3 ,  環境 ,  電子ビーム ,  誘起 ,  化学 ,  ドライエッチング ,  イメージング