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J-GLOBAL ID：201202217093250571   整理番号：12A1639685

MEMSプローブピンにおける高周波信号伝送のためのクロストーク解析と測定技術

Crosstalk Analysis and Measurement Technique for High Frequency Signal Transfer in MEMs Probe Pins

著者 (3件)： LUONG Duc Long (Dep. of Electrical and Electronics Engineering, Sungkyunkwan Univ.) ,  BAE Hyeonju (Dep. of Electrical and Electronics Engineering, Sungkyunkwan Univ.) ,  NAH Wansoo (Dep. of Electrical and Electronics Engineering, Sungkyunkwan Univ.)
資料名： IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)  (IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E95-C  号： 9  ページ： 1459-1464 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： L1370A  ISSN： 0916-8524  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS(微小電気機械システム)プローブカードの設計と製作のためのクロストーク解析/測定の方法を開発した。コネクタピンにより多くのグラウンドピンを導入することにより,クロス特性を強化し,ピンサイズおよびピッチのようなパラメータの設計指針を,信頼性のある高速信号伝送のための-30dBの与えられたクロストーク限界を満足するために提案した。本誌はまた,4ポートVNA(ベクトルネットワークアナライザ)を備えたマルチポート相互接続回路の散乱パラメータの特性を解析するための新しい方法を提示した。他のポートのおける種々の基準インピーダンスを備えた散乱行列の繰り込みを用いることにより,4ポート配置測定より得られたデータは,DUT(被試験装置,MEMSプローブ接続ピン)の完全散乱行列を構成するために合成できる。従来の2ポートVNA正規化法に比べて,提案した手法は,測定時間の節約と,開放端末測定ポートを備えていても,精度を改善できる,2つの利点を持っている。推定および正確なSパラメータとの良好な一致は,提案したアルゴリズムの妥当性を検証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  *プローブ ,  *クロストーク ,  漏話 ,  カード【形】 ,  信号伝送 ,  回路試験器
準シソーラス用語： Sパラメータ ,  プローブカード ,  散乱パラメータ ,  ベクトルネットワークアナライザ

分類 (2件)： 波形,周波数,波長,位相の計測法・機器  (AD07040Y) ,  通信測定一般  (ND03000R)

引用文献 (10件)：

• CHO, J. H. Modeling and analysis of through-silicon via (TSV) noise coupling and suppression using a guard ring. IEEE Trans. Compon. Packag. Manuf. Technol. 2011, 1, 2, 220-222
• MARINISSEN, E. J. Testing 3D chips containing through-silicon-vias. IEEE International Test Conference, Nov. 2009. 2009, 1-11
• KAWANO, M. Low-cost TSV process using electroless Ni plating for 3D stacked DRAM. IEEE. Electro. Compon. Tech. Conf., June, 2010. 2010, 1094-1099
• BAE, H. J. Design and crosstalk analysis of MEMS probe connector system. KIEES. 2012, 23, 2, 177-186
• TIPPET, J. A rigorous technique for measuring the scattering matrix of a multiport device with a 2-port network analyzer. IEEE Trans. Microw. Theory Tech. 1982, MTT-30, 5, 661-667

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  プローブピン ,  高周波信号 ,  クロストーク ,  解析