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J-GLOBAL ID：201202217207296984   整理番号：12A0430782

フルオロカーボンプラズマに共通に見られる中性種の赤外吸収断面積の温度依存性

Temperature dependence of the infrared absorption cross-sections of neutral species commonly found in fluorocarbon plasmas

著者 (3件)： NELSON Caleb T. (Dep. of Electrical Engineering, Univ. of Texas at Dallas, P.O. Box 830688, Richardson, Texas 75083) ,  OVERZET Lawrence J. (Dep. of Electrical Engineering, Univ. of Texas at Dallas, P.O. Box 830688, Richardson, Texas 75083) ,  GOECKNER Matthew J. (Dep. of Electrical Engineering, Univ. of Texas at Dallas, P.O. Box 830688, Richardson, Texas 75083)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 30  号： 2  ページ： 021305  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,プロセシングプラズマからのFourier変換赤外分光データの分析に関する参考として役立つ。今日まで,高い気体温度の場合における種同定及び密度測定の問題を処理する正確な参考データが欠如していた。著者らの結果は,集積吸収断面積が,温度が上昇するにつれて,大きくは変わらず,吸収種の温度を,ほとんどの場合に,回転バンド最大から推定できることを示した。c-C₃F₆,C₄F₈,C₃F₈,C₂F₆,C₂F₄,及びCF₄に関する集積吸収断面積を,650cm^-1~2000cm^-1領域におけるすべての基本バンドに関して提示した。加えて,4000cm^-1までの二元組み合わせバンドをすべての種に関して示した。各種の温度を変えて,プロセシングプラズマに共通に見られる中性体温度に対応させた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ ,  *中性粒子 ,  *Fourier変換赤外分光分析 ,  データ ,  同定 ,  密度 ,  回転バンド
準シソーラス用語： *フルオロカーボン ,  *気体温度 ,  吸収断面積

分類 (2件)： プラズマ一般  (BJ02010B) ,  有機化合物の赤外・Ramanスペクトル(分子)  (BH06033S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 中性 ,  赤外吸収 ,  断面積 ,  温度依存性