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J-GLOBAL ID:201202219621363327   整理番号:12A1187754

GaAs(631)ホモエピタキシャル成長における高度に規則化した自己集合ナノスケールの周期的なファセッティング

Highly ordered self-assembled nanoscale periodic faceting in GaAs(631) homoepitaxial growth
著者 (3件):
資料名:
巻: 101  号:ページ: 073112-073112-4  発行年: 2012年08月13日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分子ビームエピタクシーにより成長させたGaAs(631)A基板上での高次相関したナノスケールファセッティングの自己集合を報告する。成長温度とAsビーム等価圧力の関数として成長した試料の表面形態を原子間力顕微鏡法を使って調べた。2次元自己相関関数分析を行って,表面の波形の一様性を定量的に決定した。成長条件を最適化すると,1.7×1.7μm2と大きい相関したファセット面積が得られた。ここで論じた高度に規則化した表面波形から,量子細線の自己組織化成長を行う高度に規則化したファセット面を調製する有用な情報が得られた。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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半導体の表面構造 

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