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J-GLOBAL ID：201202223439108769   整理番号：12A0582483

三次元起伏をもつ基板上への電気的に微細なアンテナの直接転写パターン形成

Direct Transfer Patterning of Electrically Small Antennas onto Three-Dimensionally Contoured Substrates

著者 (4件)： PFEIFFER Carl (Univ. Michigan, MI, USA) ,  XU Xin (Universal Display Corp, New Jersey, USA) ,  FORREST Stephen R. (Univ. Michigan, MI, USA) ,  GRBIC Anthony (Univ. Michigan, MI, USA)
資料名： Advanced Materials  (Advanced Materials)
巻： 24  号： 9  ページ： 1166-1170  発行年： 2012年03月02日 
JST資料番号： W0001A  ISSN： 0935-9648  CODEN： ADVMEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： グリコール修飾ポリエチレンテレフタレートを加熱真空成型により半球状とし,シリカ(10nm)/銅(3nm)/金(8nm厚)を積層した。トレンチパターンを形成し,これをテンプレートとしてPDMSスタンプを作製した。スタンプ表面に金(17nm)層を形成し,冷間圧着により基板とスタンプの金層を融着させて基板上に金アンテナパターンを形成し,プラズマエッチング/金メッキにより立体アンテナを作製した。20mm径の半球アンテナについて性能を調べた。1.12GHz駆動でバンド幅2.0%,変換効率52%,2.70GHzでバンド幅14.2%,変換効率88%を確かめた。

シソーラス用語： *加工 ,  構造 ,  パターン転写 ,  ポリエチレンテレフタレート ,  成形 ,  *半球 ,  銅 ,  金 ,  積層構造 ,  坑道 ,  溝 ,  パターン形成 ,  鋳型反応 ,  ポリジメチルシロキサン ,  スタンプ材 ,  冷間加工 ,  *接合 ,  プラズマエッチング ,  金めっき ,  *立体アンテナ ,  帯域幅 ,  二酸化ケイ素
準シソーラス用語： シリカ ,  PDMS【重合体】 ,  テンプレート【鋳型反応】 ,  トレンチ ,  バンド幅 ,  *マイクロ波アンテナ ,  *三次元加工 ,  三次元構造 ,  変換効率 ,  *融着接合

分類 (3件)： アンテナ  (ND06000M) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固-固界面  (CB12060M)

タイトルに関連する用語 (3件)： アンテナ ,  転写 ,  パターン形成