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J-GLOBAL ID：201202224006157222   整理番号：12A1466391

28nmを超えるノードでのBEOLへのCPI課題

CPI Challenges to BEOL at 28nm Node and Beyond

著者 (14件)： RYAN Vivian (GLOBALFOUNDRIES Inc., NY, USA) ,  BREUER Dirk (GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, DEU) ,  GEISLER Holm (GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, DEU) ,  KIOUSSIS Dimitri (GLOBALFOUNDRIES Inc., NY, USA) ,  LEHR Matthias U. (GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, DEU) ,  PAUL Jens (GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, DEU) ,  MACHANI Kashi (GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, DEU) ,  SHAH Chirag (GLOBALFOUNDRIES Inc., CA, USA) ,  KOSGALWIES Sven (GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, DEU) ,  LEHMANN Lothar (GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, DEU) ,  LEE Jaesik (GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, DEU) ,  KUECHENMEISTER Frank (GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, DEU) ,  RYAN E.Todd (GLOBALFOUNDRIES Inc., NY, USA) ,  KARIMANAL Kamal (GLOBALFOUNDRIES Inc., CA, USA)
資料名： Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium  (Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻： 2012 Vol.1  ページ： 101-106  発行年： 2012年 
JST資料番号： A0631A  ISSN： 1541-7026  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： BEOL配線のパッケージ誘導劣化と回復のための手法に対処した。チップパッケージ配線(CPI)白色バンプ故障モードは複雑である。白色バンプ故障に対するBEOL配線の感受性の種々のキャラクタリゼーション研究を遂行することにより,大きな範囲のCPI臨界パラメーターを感度を高めて統計的に評価することが可能である。さらに,パッケージ加速経年劣化試験と二つの異なる単一バンププローブ試験は組立部品およびウェハレベル試験の結果の省資源連鎖を確認した。

シソーラス用語： *半導体プロセス ,  配線 ,  老朽化 ,  加速試験 ,  バンプ ,  *故障解析
準シソーラス用語： *BEOL ,  チップパッケージ配線

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (2件)： ノード ,  BEOL