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J-GLOBAL ID：201202224143913247   整理番号：12A1218764

干渉パターニングを利用した周期アレイの大面積製作

Large area direct fabrication of periodic arrays using interference patterning

著者 (10件)： LASAGNI Andres F. (Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU) ,  ROCH Teja (Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU) ,  ROCH Teja (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU) ,  LANGHEINRICH Denise (Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU) ,  BIEDA Matthias (Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU) ,  PEREZ Heidi (Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU) ,  PEREZ Heidi (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU) ,  WETZIG Andreas (Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU) ,  BEYER Eckhard (Fraunhofer Inst. Material and Beam Technol., Dresden, DEU) ,  BEYER Eckhard (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8244  ページ： 82440F.1-82440F.10  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 周期パターン形成した表面は,インテリジェントな表面として機能し,選択性などの機能性を有している。サブミクロンメータスケールの周期アレイを製作する技術として,直接レーザ干渉パターニング技術に注目した。本論文では,干渉パターニングを利用した周期アレイの大面積製作について検討した。局所誘導光熱や光化学プロセスに基づいた材料表面の直接処理法を開発した。ダイヤモンド様炭素膜,金属,高分子などの材料で周期アレイを製作した。被加工材を変えて,周期アレイの性能を解析した。高分子上の細胞誘導などのバイオ機能性,ダイヤモンド様炭素の摩耗耐性,制御された光学的性質などの多様な特性が実現されることが判明した。

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  *パターン形成 ,  化学プロセス ,  光学的性質 ,  アレイ ,  選択性 ,  光干渉 ,  *半導体薄膜 ,  周期構造
準シソーラス用語： パターンニング ,  大面積 ,  炭素膜

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 干渉 ,  パターニング ,  周期 ,  アレイ ,  大面積 ,  製作