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J-GLOBAL ID：201202224357157385   整理番号：12A0970449

マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコンカプラースイッチの特性評価

Characterization of Gap-Variable Silicon Waveguide Coupler Switch Using Micro Actuator

著者 (4件)： 宗正康 (東北大) ,  秋浜祐太 (東北大) ,  金森義明 (東北大) ,  羽根一博 (東北大)
資料名： 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： MSS-12  号： 1-22  ページ： 39-41  発行年： 2012年06月11日 
JST資料番号： L2898B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 筆者らはこれまでに低消費電力が実現できるMEMS光回路デバイスとして,静電マイクロアクチュエータとシリコン細線導波路を組み合わせた間隙可変カプラーを用いた光スイッチ回路を提案している。本論文では,特性改善のためにカプラーの構造を改良したシリコン細線導波路間隙可変光スイッチ回路を提案した。提案したスイッチを製作し,特性を評価した結果,波長1.55μmにおいて,ポートアイソレーションが18.5dBとなり,従来のスイッチより,5.4dB改善した。また,スイッチの波長依存性を測定した結果,ポートアイソレーション10dB以上となる波長帯域は90nmであった。以上の結果より,広帯域なカプラースイッチを実現できることが確認できた。

シソーラス用語： *マイクロアクチュエータ ,  MEMS ,  *ナノワイヤ ,  ケイ素 ,  *光導波路 ,  LSI【IC】 ,  相互接続 ,  *光結合器 ,  *光スイッチ ,  光回路 ,  波長依存性
準シソーラス用語： シリコン細線導波路 ,  光インターコネクション

分類 (1件)： その他の光伝送素子  (BD06040S)

引用文献 (3件)：

• (1) B. Jalali and S. Fathpour : “Silicon photonics", J. Lightwave Technol., vol. 24, pp. 4600-4615, (2006)
• (2) 山田ら:「シリコン細線導波路システム」,信学論,Vbl.J88-C,No.6,pp.374-387(2005)
• (3) Y. Akihama, Y. Kanamori, and K. Hane : “Ultra-small silicon waveguide coupler switch using gap-variable mechanism", Opt. Exp., Vol.19, pp. 23658-23663 (2011)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロアクチュエータ ,  間隙 ,  可変 ,  特性評価