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J-GLOBAL ID：201202224968600276   整理番号：12A1754314

様々な物理的洗浄の比較

Comparisons of various physical cleaning

著者 (5件)： BAE Sang Won (Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR) ,  KANG Dae Hyuk (Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR) ,  LEE Hyo San (Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR) ,  LEE Kun Tack (Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR) ,  KOH Yong Sun (Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
資料名： Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena  (Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena)
巻： 187  ページ： 131-134  発行年： 2012年 
JST資料番号： T0583A  ISSN： 1012-0394  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (2件)： 物理 ,  洗浄