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J-GLOBAL ID：201202225907118478   整理番号：12A0906401

ねじれマイクロミラーのスクイーズ膜減衰のモデル化における支持物の垂直偏位の影響

The influence of vertical deflection of the supports in modeling squeeze film damping in torsional micromirrors

著者 (3件)： MOEENFARD Hamid (Center of Excellence in Design, Robotics and Automation, School of Mechanical Engineering, Sharif Univ. of Technol. ...) ,  MOEENFARD Hamid (School of Mechanical Engineering, Univ. of Michigan, Ann Arbor, MI, USA) ,  TAGHI AHMADIAN Mohammad (Center of Excellence in Design, Robotics and Automation, School of Mechanical Engineering, Sharif Univ. of Technol. ...)
資料名： Microelectronics Journal  (Microelectronics Journal)
巻： 43  号： 8  ページ： 530-536  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： A0186A  ISSN： 0026-2692  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究の目的は,支持するねじりマイクロビームの曲げを考慮したマイクロミラーにおいて圧搾膜減衰の問題を検討するための分析フレームワークを作成することである。数学的および物理的正当化を用いて,ミラーの下の圧搾ガスの挙動を支配する非線形Reynolds方程式を線形化した。次に,結果として生じる線型方程式を無次元化し,また,ミラーの微小と有限傾斜角の2例について解析的に解いた。その後,Reynolds方程式の解からの得られた圧力分布は,ミラーに適用された圧搾膜減衰力とトルクを見つけるために使用された。結果は,微小傾斜角の場合に,圧搾膜減衰はねじれと横方向の両方で線形粘性減衰によりモデル化できることを示した。また,ミラーの回転角が小さい場合,ミラーの長さを増加させることで減衰力と制動トルクが増やされることが示された。有限傾斜角の場合において,適用された制動トルクは,角速度に対するその垂直比率と同様にミラーの傾斜角に非常に依存することが観察され,また,結果として,ミラーに適用される圧搾膜減衰力とトルクに対するミラーの垂直速度の影響は,簡単に無視することができない。この努力に起因する定性的および定量的知識は,改善された動的パフォーマンスのためのマイクロミラーの分析,最適化と合成を最終的に可能にするであろうことが期待される。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *反射鏡 ,  *スクイーズ膜 ,  *減衰 ,  方程式 ,  曲げ ,  ねじり ,  傾斜角 ,  減衰能 ,  モデリング
準シソーラス用語： Reynolds方程式 ,  *マイクロミラー ,  減衰力

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (8件)： ねじれ ,  マイクロミラー ,  スクイーズ膜 ,  減衰 ,  モデル化 ,  支持物 ,  垂直 ,  偏位