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J-GLOBAL ID：201202226169178777   整理番号：12A0785077

マイクロシステム中の触媒薄膜の局所蒸着とパターン形成

Local deposition and patterning of catalytic thin films in microsystems

著者 (5件)： VERESHCHAGINA E (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  BLIZNYUK O (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  TIGGELAAR R M (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  ALTENA-SCHILDKAMP K (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  GARDENIERS J G E (Univ. Twente, Enschede, NLD)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 4  ページ： 045023,1-11  発行年： 2012年04月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロリアクタや可燃ガスセンサのような触媒マイクロシステムでは,触媒が非常に重要であり,触媒の局所的蒸着やパターン形成が必要である。本稿では,標準的なマイクロマシニングプロセスに適合した触媒薄膜の蒸着とパターン形成法を検討した。自己組立法,ソフトリソグラフィー法および通常のマイクロマシニング法の組合せによる各種の方法を比較検討した。白金(Pt)とパラジウム(Pd)をモデル触媒として使った。その結果,スパッタ薄膜はゾルゲル法による触媒より活性が低かった。これは表面積が少なかったためである。しかし,より高反応性システムや高感度計測法が使われれば問題ないレベルである。

シソーラス用語： マイクロリアクタ ,  ガスセンサ ,  *白金触媒 ,  *パラジウム触媒 ,  パターン形成 ,  マイクロマシニング ,  リソグラフィー ,  *スパッタ蒸着 ,  ゾル-ゲル法
準シソーラス用語： ソフトリソグラフィー ,  自己組立

分類 (1件)： 貴金属触媒  (CB06122I)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロシステム ,  触媒 ,  薄膜 ,  蒸着 ,  パターン形成