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J-GLOBAL ID：201202226278030402   整理番号：12A1367535

周期的なアニーリングの間のZnTe/Si(211)およびGaAs(211)におけるCdTeバッファ層表面の進化に関する理解

Understanding the Evolution of CdTe Buffer Layer Surfaces on ZnTe/Si(211) and GaAs(211)B During Cyclic Annealing

著者 (8件)： JAIME-VASQUEZ M. (CERDEC Night Vision and Electronic Sensors Directorate, U.S. Army RDECOM, 22060, Fort Belvior, VA, USA) ,  JACOBS R.N. (CERDEC Night Vision and Electronic Sensors Directorate, U.S. Army RDECOM, 22060, Fort Belvior, VA, USA) ,  NOZAKI C. (CERDEC Night Vision and Electronic Sensors Directorate, U.S. Army RDECOM, 22060, Fort Belvior, VA, USA) ,  BENSON J.D. (CERDEC Night Vision and Electronic Sensors Directorate, U.S. Army RDECOM, 22060, Fort Belvior, VA, USA) ,  ALMEIDA L.A. (CERDEC Night Vision and Electronic Sensors Directorate, U.S. Army RDECOM, 22060, Fort Belvior, VA, USA) ,  ARIAS J. (CERDEC Night Vision and Electronic Sensors Directorate, U.S. Army RDECOM, 22060, Fort Belvior, VA, USA) ,  ARIAS J. (RAND, Santa Monica, CA, USA) ,  PELLEGRINO J. (CERDEC Night Vision and Electronic Sensors Directorate, U.S. Army RDECOM, 22060, Fort Belvior, VA, USA)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 41  号： 10  ページ： 2975-2980  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者らは,日常的な熱サイクルアニーリング(TCA)プロセスの間に,ZnTe/Si(211)およびGaAs(211)において成長したCdTeバッファ層表面に生じる変化の,詳細研究の結果について述べた。観察により,TCAがTeの過剰圧の下で行われる場合には,CdTeバッファ層表面は,Teで飽和することを明らかにした。TCA工程の間にTeフラックスが存在しないと,CdTe表面はそれに合せてCdTeを失い,典型的なCdTeのナノワイヤは,その表面にノジュールを現わす。TCAの間に,反射高エネルギー電子回折パターンについて観察される変化を,表面化学とトポグラフィー観察の観点から説明した。全体として,Teの過剰圧は,より平滑な初期の表面を維持して,分子ビームエピタクシー(MBE)成長を継続するために必要である。Copyright 2012 TMS (outside the USA) Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： ヒ化ガリウム ,  *テルル化カドミウム ,  焼なまし ,  *バッファ層 ,  *MBE成長 ,  第12族元素化合物 ,  半導体薄膜 ,  薄膜成長
準シソーラス用語： ZnTe/Si ,  熱サイクルアニーリング

分類 (3件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  有機第11族・有機第12族元素化合物  (CF09052N)

タイトルに関連する用語 (9件)： 周期 ,  アニーリング ,  ZnTe ,  Si ,  GaAs ,  CdTe ,  バッファ層 ,  進化 ,  理解