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J-GLOBAL ID：201202227122938354   整理番号：12A1145196

歩留りのモデル化,チャンバの整合,及び仮想計測法応用に対するデータマイニング法の比較

A Comparison of Data Mining Methods for Yield Modeling, Chamber Matching and Virtual Metrology Applications

著者 (3件)： SHARMA Deepak (Applied Materials, Bangalore, IND) ,  ARMER Helen (Applied Materials, Bangalore, IND) ,  MOYNE James (Applied Materials, Bangalore, IND)
資料名： IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop  (IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop)
巻： 23rd  ページ： 231-236  発行年： 2012年 
JST資料番号： W0718A  ISSN： 1078-8743  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 45nmプロセスへの移行に伴い,歩留り解析とチャンバ整合に対し,統計的モデル化は最重要になりつつある。今回,モデル化ツール及びデータ処理に関して幾つかの重要な統計的モデリングツールと機械学習法を調査した。最も一般的な線形回帰法である部分最小二乗法(PLS),ロバスト非線形回帰又はKernel利用手法であるサポートベクトルマシン,及び最重要変数を特定するツリー利用アンサンブル手法を比べた。歩留りが線形関数の場合,PLSが最良であった。

シソーラス用語： *歩留り ,  *モデリング ,  実験装置 ,  データ処理 ,  データマイニング ,  統計模型 ,  サポートベクトルマシン ,  部分最小二乗法 ,  ツリー構造 ,  整合 ,  *半導体プロセス
準シソーラス用語： アンサンブル学習 ,  仮想計測

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 歩留り ,  モデル化 ,  チャンバ ,  整合 ,  仮想計測 ,  応用 ,  データマイニング