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J-GLOBAL ID：201202227595280941   整理番号：12A0602052

ナフテン酸化合物とアルコキシドを用いたSrO-Al₂O₃-ZrO₂系薄膜の形成と評価

著者 (4件)： CHIN S. (東京工大 大学院) ,  矢野哲司 (東京工大 大学院) ,  岸哲生 (東京工大 大学院) ,  柴田修一 (東京工大 大学院)
資料名： 日本セラミックス協会年会講演予稿集
巻： 2012  ページ： 35  発行年： 2012年03月19日 
JST資料番号： X0505A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ナフテン酸 ,  *酸化ストロンチウム ,  酸化アルミニウム ,  酸化ジルコニウム ,  *薄膜 ,  *スピンコーティング ,  表面構造 ,  構造

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： アルミニウムイソプロポキシド

タイトルに関連する用語 (6件)： ナフテン酸 ,  アルコキシド ,  SrO ,  Al2O3-ZrO2 ,  薄膜 ,  評価