文献

J-GLOBAL ID：201202227611806525   整理番号：12A0430711

4バールの圧力下での電子顕微鏡観測が可能になる非常に薄いけれども非常に強いウインドウを備えた微細加工チャンネル

Micro-fabricated channel with ultra-thin yet ultra-strong windows enables electron microscopy under 4-bar pressure

著者 (8件)： ALAN Tuncay (Delft Inst. of Microsystems and Nanoelectronics, Delft Univ. of Technol., 2628 CT Delft, NLD) ,  YOKOSAWA Tadahiro (Centre for High Resolution Electron Microscopy, Delft Univ. of Technol., 2628 CJ Delft, NLD) ,  GASPAR Joao (Dep. of Microsystems Engineering (IMTEK), Univ. of Freiburg Georges-Kohler-Allee 103, D-79110 Freiburg, DEU) ,  PANDRAUD Gregory (Delft Inst. of Microsystems and Nanoelectronics, Delft Univ. of Technol., 2628 CT Delft, NLD) ,  PAUL Oliver (Dep. of Microsystems Engineering (IMTEK), Univ. of Freiburg Georges-Kohler-Allee 103, D-79110 Freiburg, DEU) ,  CREEMER Fredrik (Delft Inst. of Microsystems and Nanoelectronics, Delft Univ. of Technol., 2628 CT Delft, NLD) ,  SARRO Pasqualina M. (Delft Inst. of Microsystems and Nanoelectronics, Delft Univ. of Technol., 2628 CT Delft, NLD) ,  ZANDBERGEN Henny W. (Centre for High Resolution Electron Microscopy, Delft Univ. of Technol., 2628 CJ Delft, NLD)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 100  号： 8  ページ： 081903  発行年： 2012年02月20日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (脱-)水素化反応の透過型電子顕微鏡観察は,水素貯蔵物質の効率を評価するのに非常に重要である。ナノ反応炉,即ち厚さが15nmのウインドウを持つ微細加工チャンネルは,反応をTEM観察する過程においてガス流を電子透明室へ有効に閉じ込める。実際の実験を継続するには高圧が必要である。ナノ機械によるバルジ試験とシミュレーションから,極端なサイズ効果のために,非常に薄い素子部品は19.5GPaまでの引っ張り応力に確実に耐えることが可能で,高圧動作が可能であることが分かった。この素子を用いて,高真空のTEM内における4バールのH₂圧下にあるPd粒子を評価する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *窓 ,  超薄膜 ,  *透過型電子顕微鏡 ,  水素化 ,  脱水素 ,  機能材料 ,  膜厚 ,  引張応力 ,  窒化ケイ素 ,  水素貯蔵材料
準シソーラス用語： Weibull強度 ,  バルジ試験 ,  水素吸蔵材料 ,  脱水素化

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  その他の金属組織学  (WB01040Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子顕微鏡観測 ,  ウインドウ ,  微細加工 ,  チャンネル