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J-GLOBAL ID：201202227937344920   整理番号：12A0929842

タングステン電極を持つMEMリレーにおける接触抵抗安定性の評価

Characterization of Contact Resistance Stability in MEM Relays With Tungsten Electrodes

著者 (6件)： CHEN Yenhao (Univ. California, CA, USA) ,  NATHANAEL Rhesa (Univ. California, CA, USA) ,  JEON Jaeseok (State Univ. New Jersey, NJ, USA) ,  YAUNG Jack (Univ. California, CA, USA) ,  HUTIN Louis (Univ. California, CA, USA) ,  LIU Tsu-Jae King (Univ. California, CA, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 21  号： 3  ページ： 511-513  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： タングステン(W)電極を持つマイクロ電気機械リレーのオン状態抵抗(R_ON)に及ぼすデバイス動作パラメータの影響を報告する。酸化に対するWの感受性のために,R_ONは,望ましくはないが,デバイス動作回数と共に増加した。この問題は,リレーがオン状態にある時,Joule熱によって悪化する。実験結果から,オン/オフスイッチング回数に関して,オン時間が短いほど,同様に,オフ時間が短いほど,R_ONが安定することを確認できた。

シソーラス用語： *マイクロスイッチ ,  *MEMS ,  *接触抵抗 ,  信頼性 ,  タングステン ,  安定性 ,  走査電子顕微鏡 ,  経時変化 ,  Auger分光法
準シソーラス用語： Joule熱 ,  MEMSスイッチ ,  SEM【顕微鏡】 ,  リレー

分類 (2件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： タングステン電極 ,  リレー ,  接触抵抗 ,  安定性 ,  評価