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J-GLOBAL ID：201202228848111480   整理番号：12A0231003

位相シフトインライン干渉測定,単一ショット軸外構造,Zernike多項式フィッティングを利用した曲率測定

Curvature measurement using phase shifting in-line interferometry, single shot off-axis geometry and Zernike’s polynomial fitting

著者 (4件)： ABDELSALAM D.g. (Div. of Mechanical System Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju 561-756, KOR) ,  ABDELSALAM D.g. (Engineering and Surface Metrology Lab., National Inst. of Standards, Tersa St., El haram, El Giza, Egypt) ,  BAEK Byung Joon (Div. of Mechanical System Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju 561-756, KOR) ,  KIM Daesuk (Div. of Mechanical System Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju 561-756, KOR)
資料名： Optik  (Optik)
巻： 123  号： 5  ページ： 422-427  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： D0251A  ISSN： 0030-4026  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,Michelson干渉計を用いて平滑球面の曲率を測定する場合,位相シフトインライン干渉測定法,単一ショット軸外構造法,Zernike多項式フィッティング法の相違を検討した。位相シフトインライン干渉測定法では,圧電アクチュエータ(PZT)でシフトさせた四つの干渉縞をディジタル検出器で測定し,平面フィールディング法で補正した。参照を軸外構造で傾斜させて,単一ショット軸外干渉縞を得た。ディジタル参照波概念を利用して,観測面内の中心領域で軸外干渉縞の物体波を復元した。これにより,復調位相マップを得た。これをアンラッピングして,2πのあいまい性を除去した。アンラッピング位相マップを高さに変換し,サジタル長を正確に計算して,曲率を測定した。位相シフトインライン干渉測定法と単一ショット軸外軸外構造法の結果を,単一ショットZernike多項式フィッティング法の結果と比較した。この結果は良く一致した。物体界面で誘起された干渉縞を除去するために,新しい試験を実行した。測定に影響する不確実性を推定した。これは6.0×10^-5mmまたは0.003dioptre(▽)程度であった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *光干渉法 ,  Zernike多項式 ,  近似法 ,  計測器 ,  *曲率 ,  Michelson干渉計 ,  アクチュエータ ,  位相シフト ,  不確実性 ,  球面 ,  干渉縞
準シソーラス用語： フィッティング【近似法】 ,  圧電アクチュエータ ,  位相シフトインライン干渉測定 ,  曲率計

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (7件)： 位相シフト ,  インライン ,  干渉測定 ,  ショット ,  Zernike多項式 ,  フィッティング ,  曲率