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J-GLOBAL ID：201202229022602270   整理番号：12A1311296

建築応用に対する低放射率物理蒸着多層コーティングの機械的特性に対する熱アニーリングの影響

Effect of thermal annealing on the mechanical properties of low-emissivity physical vapor deposited multilayer-coatings for architectural applications

著者 (7件)： MESZAROS Robert (Inst. of Glass and Ceramics, Dep. of Materials Sci., Univ. of Erlangen-Nuremberg, 91058 Erlangen, DEU) ,  MERLE Benoit (Inst. of General Materials Properties, Dep. of Materials Sci., Univ. of Erlangen-Nuremberg, 91058 Erlangen, DEU) ,  WILD Michael (Interpane Glasgesellschaft mbH, 94447 Plattling, DEU) ,  DURST Karsten (Inst. of General Materials Properties, Dep. of Materials Sci., Univ. of Erlangen-Nuremberg, 91058 Erlangen, DEU) ,  GOEKEN Mathias (Inst. of General Materials Properties, Dep. of Materials Sci., Univ. of Erlangen-Nuremberg, 91058 Erlangen, DEU) ,  WONDRACZEK Lothar (Inst. of Glass and Ceramics, Dep. of Materials Sci., Univ. of Erlangen-Nuremberg, 91058 Erlangen, DEU) ,  WONDRACZEK Lothar (Otto-Schott-Institute, Univ. of Jena, 07743 Jena, DEU)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 24  ページ： 7130-7135  発行年： 2012年10月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多重積層した物理堆積金属・誘電体層から構成される低放射率(低E)被覆は,近代ビルディングのエネルギー管理において重要な役割を果たす。このような建築用グレイジングの製造プロセスでは,被覆が700°Cまでの短時間熱負荷に耐える必要がある。ここでは,高い温度安定性のために特殊開発した代表的な大面積マグネトロンスパッタで形成した低E積層物について,機械的特性における熱誘起変化に関して報告した。熱処理前後の被覆の変化を,バルジ試験,Stoney方程式を用いた曲率解析,およびナノインデンテーションによって調べた。堆積後未処理の被覆は,基板のタイプにより,約48MPaの面内残留圧縮応力および120GPaのYoung率を得た。700°Cに短時間曝露すると,>400MPaの面内残留引張応力に変化し,Young率は約105GPaに減少した。このような残留応力状態の変化は,被覆積層物における構造的,位相幾何学的および次元的変化に基づいて説明可能であった。これらは低E被覆の温度抵抗性を支配する主要因子の一つであることを指摘した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 熱処理 ,  スパッタ蒸着 ,  *多層膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *薄膜成長 ,  酸化ケイ素 ,  酸化亜鉛 ,  酸化チタン ,  酸化スズ ,  銀 ,  ニッケル合金 ,  クロム含有合金 ,  LPCVD ,  *引張応力 ,  残留応力 ,  *圧縮応力 ,  Young率 ,  顕微鏡観察 ,  原子間力顕微鏡 ,  ナノインデンテーション ,  材料試験 ,  熱負荷 ,  ガラス工事 ,  *被覆層
準シソーラス用語： Stoney方程式 ,  熱アニーリング

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (7件)： 建築 ,  応用 ,  放射率 ,  物理蒸着 ,  多層コーティング ,  機械的特性 ,  熱アニーリング