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J-GLOBAL ID：201202229421213873   整理番号：12A0553089

アモルファスIGZO薄膜の熱拡散率測定

著者 (9件)： 吉川透 (青山学院大 理工) ,  岡伸人 (青山学院大 理工) ,  八木貴志 (産業技術総合研) ,  山下雄一郎 (産業技術総合研) ,  竹歳尚之 (産業技術総合研) ,  馬場哲也 (産業技術総合研) ,  服部浩一郎 (産業技術総合研) ,  清野豊 (産業技術総合研) ,  重里有三 (青山学院大 理工)
資料名： Thermophysical Properties  (Thermophysical Properties)
巻： 32nd  ページ： 99-101  発行年： 2011年11月21日 
JST資料番号： X0031A  ISSN： 0911-1743  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *インジウム化合物 ,  *ガリウム化合物 ,  *亜鉛化合物 ,  *酸化物 ,  *薄膜 ,  *非晶質 ,  *温度伝導率 ,  透明導電膜 ,  光 ,  加熱 ,  計測 ,  石英ガラス ,  マグネトロンスパッタリング ,  電気抵抗 ,  フォノン ,  実験装置 ,  X線回折 ,  キャリア密度 ,  Young率 ,  平均自由行程 ,  散乱 ,  直流マグネトロンスパッタリング ,  パルス加熱 ,  パルス光 ,  フォノン散乱 ,  伝導伝熱 ,  輸送現象
準シソーラス用語： 熱伝導 ,  サーモリフレクタンス法 ,  *熱拡散率 ,  溶融シリカ

分類 (2件)： 比熱・熱伝導一般  (BL05021E) ,  その他の光学的効果  (BM08040H)

タイトルに関連する用語 (4件)： アモルファス ,  IGZO ,  薄膜 ,  熱拡散率