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J-GLOBAL ID：201202231378030179   整理番号：12A1443663

大気圧SEMによるデンドライト成長のin-situ評価

著者 (1件)： 須賀三雄 (日本電子)
資料名： 日本信頼性学会誌  (REAJ誌)
巻： 34  号： 7  ページ： 436-443  発行年： 2012年09月01日 
JST資料番号： L2778A  ISSN： 0919-2697  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 通常の電子顕微鏡では,観察の際に試料を真空中に配置しなければならない。このため,デンドライトの形成をはじめとして,大気や溶液中でおこる現象を電子顕微鏡でin-situ観察することは容易でなかった。そこで,筆者らは大気や溶液中の試料を観察できる,大気圧走査電子顕微鏡(大気圧SEM)を開発してきた。大気に解放された試料室を有することが,このSEMの大きな特徴である。本解説では,大気圧SEMの構成,および,その開発により実現した液体中における試料の動的観察について説明する。特に,電気化学反応を観察するために電気化学薄膜ディッシュを開発し,溶液中のデンドライトの形成をはじめとして,電解液中における電気化学反応のin-situ観察を実現した。また,プリンテッドエレクトロニクスに用いられる銀ペーストの観察を簡単にできるようになった。さらに,はんだの融解・凝固などの様子をリアルタイム観察することにも成功した。本解説では,これらの結果について説明する。(著者抄録)

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  *樹枝状結晶 ,  その場観察 ,  *電子顕微鏡観察 ,  *電気化学反応 ,  はんだ付 ,  *ペースト ,  高分解能 ,  スループット ,  融解 ,  凝固 ,  銀 ,  マイグレーション【化学物質】 ,  窒化ケイ素 ,  MEMS ,  二酸化ケイ素
準シソーラス用語： シリカ ,  大気圧走査型電子顕微鏡

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (15件)：

• ABRAMS, I. M. A Closed Cell for Electron Microscopy. Journal of Applied Physics. 1944, 15, 607-609
• BUTLER, E. P. Dynamic Experiments in the Electron Microscope. Practical methods in Electron Microscopy. 1981, 9
• 福嶋球琳男. 隔膜型環境制御試料室システム. 顕微鏡. 2008, 43, 1, 9-14
• DE JONGE, N. Electron microscopy of specimens in liquid. Nature Nanotechnology. 2011, 6, 11, 695-704
• THIBERGE, S. Scanning electron microscopy of cells and tissues under fully hydrated conditions. PNAS. 2004, 101, 10, 3346-3351

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧 ,  SEM ,  デンドライト成長 ,  評価