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J-GLOBAL ID：201202231559891850   整理番号：12A0809087

PZTアクチュエータを用いて作製したぜん動マイクロポンプの電気故障解析

Electrical failure analysis of peristaltic micropumps fabricated with PZT actuators

著者 (4件)： CHEN Bing-liang (Dep. of Electrical Engineering and Center for Micro/Nano Sci. and Technol., National Cheng Kung Univ., Taiwan) ,  HUANG Pao-cheng (Dep. of Electrical Engineering and Center for Micro/Nano Sci. and Technol., National Cheng Kung Univ., Taiwan) ,  JANG Ling-sheng (Dep. of Electrical Engineering and Center for Micro/Nano Sci. and Technol., National Cheng Kung Univ., Taiwan) ,  CHEN Ming-kun (Dep. of Electrical Engineering and Center for Micro/Nano Sci. and Technol., National Cheng Kung Univ., Taiwan)
資料名： Microelectronics Reliability  (Microelectronics Reliability)
巻： 52  号： 6  ページ： 1080-1085  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： C0530A  ISSN： 0026-2714  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： バルブレスぜん動チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)マイクロポンプを作製するため電気解析に基づく検出法を提案する。修正型Butterworth-Van Dyke(BVD)モデルを用いて,各種の故障に関連する抵抗要素や容量要素の特性を解析する。BVDモデルにおける直列抵抗および並列容量を用いて故障を検出し,故障タイプを分類する。三つの共通故障,(a)PZT亀裂,(b)不均等銀エポキシ分布および(c)PZT反転に注目してマイクロポンプ組立工程の故障解析を行う。この解析手法は実験結果を回路モデルと組み合わせてPZTマイクロポンプ作製信頼性を決定する。この手法を用いてぜん動PZTマイクロポンプの欠陥を検出でき,故障タイプを分類できる。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *故障解析 ,  蠕動 ,  *容積形ポンプ ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *アクチュエータ ,  *故障検出 ,  *信頼性 ,  欠陥検査 ,  信号特性 ,  電流測定 ,  *MEMS ,  *圧電素子 ,  亀裂伝搬 ,  マイクロポンプ
準シソーラス用語： 蠕動ポンプ ,  時間領域

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (7件)： PZT ,  アクチュエータ ,  作製 ,  ぜん動 ,  マイクロポンプ ,  電気故障 ,  解析