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J-GLOBAL ID:201202232451991839   整理番号:12A1227671

酸化したTiN薄膜を介した可視光水分解

Visible Light Water Splitting via Oxidized TiN Thin Films
著者 (7件):
資料名:
巻: 116  号: 30  ページ: 15855-15866  発行年: 2012年08月02日 
JST資料番号: W1877A  ISSN: 1932-7447  CODEN: JPCCCK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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TiN薄膜の酸化によるTiO2薄膜の調製法を検討した。RFマグネトロンスパッター法でTiNの製膜を行い,更に熱処理することでTiO2に変換し,可視光下での光電気化学活性を調べた。TiN製膜時の条件を制御することで最終的に得られるTiO2の構造が制御出来る。低圧条件での製膜ではルチル型が優勢で,高圧条件で製膜されたTiNからはアナターゼ型TiO2が得られる。酸化の際にはTiNとTiO2の間に薄いTiOxNy界面層が形成される。アニール条件によりTiNとTiO2の双方が共存する膜を得ることが出来,ヘテロジャンクション薄膜の可能性を示した。可視光で比較的高い光電流が観測され,水分解への応用可能性を提示した。
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分類 (2件):
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電気化学反応  ,  塩基,金属酸化物 
タイトルに関連する用語 (4件):
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