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J-GLOBAL ID：201202232594339369   整理番号：12A0430771

ネオジム鉄ホウ素磁石及び低ガス放出本体をもつ新しい軽量イオンポンプ

Novel light sputter ion pump with neodymium iron boron magnets and the low outgassing body

著者 (3件)： HA Taekyun (Pohang Accelerator Lab., POSTECH, Pohang 790-784, KOR) ,  PARK C. D. (Pohang Accelerator Lab., POSTECH, Pohang 790-784, KOR) ,  CHUNG Sukmin (Dep. of Physics, POSTECH, Pohang 790-784, KOR)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 30  号： 2  ページ： 020601  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超高真空のための軽量イオンポンプを,5mm厚ネオジム鉄ホウ素(NdFeB)磁石を用いて作製した。ポンプの重量は,フェライト磁石を用いた従来のスパッタイオンポンプと較べて,30%低減された。磁場の一様性のため,磁石の三つの部分を,30l/s排気装置のために100×150mm磁石ブロックに組み合わせた。ステンレス鋼ポンプ本体の内表面に高純度高密度の酸化クロム膜を形成することにより,NdFeB磁石の低作動温度(150°C以下)に対応した。この真空熱酸化により,水及び水素のガス放出速度は,高温ベークアウトが不必要であるほど,大きく低下した。開発ポンプにより達成した到達圧力は,100°Cの低いベークアウト温度でも10^-10mbarよりはるかに低かった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *イオンポンプ【真空】 ,  超高真空 ,  *軽量化 ,  磁石 ,  *ステンレス鋼 ,  *酸化クロム ,  *ガス放出 ,  水 ,  水素 ,  圧力
準シソーラス用語： *ネオジム鉄ホウ素磁石 ,  ベイクアウト ,  到達圧力

分類 (3件)： 真空ポンプ  (QD04030I) ,  真空技術  (BA02020L) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： ネオジム ,  鉄 ,  ホウ素 ,  磁石 ,  ガス放出 ,  軽量 ,  イオンポンプ