文献

J-GLOBAL ID：201202233094242217   整理番号：12A0255870

ニオブ酸リチウムの延性モード切削に関する研究

著者 (7件)： 静弘生 (兵庫県大) ,  奥田孝一 (兵庫県大) ,  布引雅之 (兵庫県大) ,  LI Wei (兵庫県大) ,  稲岡孝信 (兵庫県大) ,  才木常正 (兵庫県工技セ) ,  内海裕一 (兵庫県大)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 56  号： 2  ページ： 118-123  発行年： 2012年02月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： この論文では表面弾性波型マイクロポンプに用いられるニオブ酸リチウムを,直接切削により溝加工したときの切削特性について述べる。ニオブ酸リチウムは強い結晶方位依存性を持つ脆性材料であることから,切削方向を変化させると仕上げ面性状に大きな違いが見られたが,多くの切削方向において約5μm以下の切込みで延性モード切削が可能であることがわかった。また,エンドミルを用いたミーリング加工を行いニオブ酸リチウムの切削加工による微細溝加工が可能となった。さらに,切削加工溝によるSAWの粉体輸送実験を行い粉体の移動が確認された。(著者抄録)

シソーラス用語： *ニオブ酸リチウム ,  *切削 ,  *溝加工 ,  *被削性 ,  脆性材料 ,  加工面 ,  *エンドミル加工 ,  微細加工 ,  弾性表面波素子 ,  ポンプ ,  粉体輸送 ,  マイクロマシニング ,  ダイヤモンド ,  ダイヤモンド工具 ,  *旋削 ,  超精密加工 ,  マイクロポンプ ,  *延性モード切削 ,  切削面 ,  単結晶ダイアモンド ,  超精密切削 ,  鉱石 ,  宝石
準シソーラス用語： *マイクロエンドミル加工

分類 (1件)： その他の無機工業薬品,無機材料  (YB02090K)

引用文献 (14件)：

• EGASHIRA, K. Milling Using Ultra-Small Diameter Ball End Mills Fabricated by Electrical Discharge Machining. Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 2003, 69, 10, 1449-1453
• RENAUDIN, A. Saw lab-on-chip in view of protein affinity purification implemented from nanodroplet transport. Proceedings of μ-TAS 2005. 2005, 599
• OKADA, K. One-Chip Microfluidics System by using Surface Acoustic Wave Pump and Mixer. Proceedings of HARMST, 2007. 2007, 231-236
• NAKAMURA, M. Study on Ultra Precision Grinding of LiNbO_3. Proceedings of Symposium at Annual Meeting of the Japan Society for Precision Engineering, 2005. 2005, 1151
• OKUDA, K. Study on Micro Cutting of LiNbO_3 of SAW Device. Proceedings of the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, 2009. 2009, 437-442

タイトルに関連する用語 (3件)： ニオブ酸リチウム ,  延性モード切削 ,  研究