文献
J-GLOBAL ID:201202233321122681   整理番号:12A0764867

パワーデバイス用途向けの3インチSiCウェーハの低温フォトルミネッセンスの調査

Low Temperature Photoluminescence Investigation of 3-inch SiC Wafers for Power Device Applications
著者 (10件):
資料名:
巻: 711  ページ: 164-168  発行年: 2012年 
JST資料番号: D0716B  ISSN: 0255-5476  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)

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