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J-GLOBAL ID：201202233364839890   整理番号：12A1754323

メガソニック洗浄におけるキャビテーションヒステリシスの重要性

The Importance of Cavitation Hysteresis in Megasonic Cleaning

著者 (11件)： CAMEROTTO Elisabeth (IMEC vzw, Leuven, BEL) ,  CAMEROTTO Elisabeth (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL) ,  DE GENDT Stefan (IMEC vzw, Leuven, BEL) ,  DE GENDT Stefan (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL) ,  HAUPTMANN Marc (IMEC vzw, Leuven, BEL) ,  HAUPTMANN Marc (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL) ,  SHAMIRYAN Denis (IMEC vzw, Leuven, BEL) ,  HEYNS Marc (IMEC vzw, Leuven, BEL) ,  HEYNS Marc (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL) ,  MERTENS Paul W. (IMEC vzw, Leuven, BEL) ,  BREMS Steven (IMEC vzw, Leuven, BEL)
資料名： Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena  (Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena)
巻： 187  ページ： 171-175  発行年： 2012年 
JST資料番号： T0583A  ISSN： 1012-0394  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (2件)： メガソニック洗浄 ,  重要性