文献

J-GLOBAL ID：201202233951945040   整理番号：12A0759283

DLCからダイヤモンドナノ粒子へのHプラズマ処理誘発相転移

H plasma processing triggered phase transformation from DLC to diamond nano-particles

著者 (6件)： DENG Jian-hua (Lab. of Nanomaterial and Technol., Key Lab. of Beam Technol. and Material Modification of the Ministry of Education ...) ,  WU Shao-long (Lab. of Nanomaterial and Technol., Key Lab. of Beam Technol. and Material Modification of the Ministry of Education ...) ,  SUN Peng-cheng (Lab. of Nanomaterial and Technol., Key Lab. of Beam Technol. and Material Modification of the Ministry of Education ...) ,  ZHENG Rui-ting (Lab. of Nanomaterial and Technol., Key Lab. of Beam Technol. and Material Modification of the Ministry of Education ...) ,  ZHAO Yong (Dep. of Physics, Nanchang Univ., Jiangxi 330031, CHN) ,  CHENG Guo-an (Lab. of Nanomaterial and Technol., Key Lab. of Beam Technol. and Material Modification of the Ministry of Education ...)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 25  ページ： 45-49  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド様炭素(DLC)膜から非晶質炭素(a-C)カプセル化ダイヤモンドナノ粒子(a-DNPs)への相転移を1000Kでの長時間,低出力高周波(rf,40~60W)Hプラズマ処理を用いることにより実現した。SEM観察から,高密度充填ナノ粒子(NPs)から成る薄膜が,長時間Hプラズマ処理後DLC膜の表面に生成していることが分かった。NPsの長さは,処理時間と共に劇的に増加したが,その密度変化は,無視できる程度(~3×10¹¹cm^-2)であった。可視およびUV Ramanから,このNPsは,ダイヤモンドとa-Cから成ることが明らかとなった。XPSからは,SP³混成炭素の処理時間依存性含量増加が示され,プラズマ処理におけるダイヤモンドの成長が確かめられた。以前の研究結果に基づき,コア(ダイヤモンド)-シェル(a-C)構造および二段階転換モデルを提案した。DLC中のSP³混成炭素クラスタが,DNP成長の種として挙動し,rf Hプラズマ処理が,この相転移の進展に対する適切な駆動力を提供することが推測された。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *ダイヤモンド ,  *ナノ粒子 ,  *プラズマ処理 ,  水素 ,  *相転移 ,  プラズマ ,  密度 ,  多層構造 ,  *コアシェル構造
準シソーラス用語： 高周波プラズマ

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  固相転移  (BL04020G)

タイトルに関連する用語 (6件)： DLC ,  ダイヤモンド ,  ナノ粒子 ,  プラズマ処理 ,  誘発 ,  相転移