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J-GLOBAL ID：201202234650470735   整理番号：12A0626964

鋭い圧子押込みにおける負荷除荷曲線を利用した薄膜材料の弾塑性特性評価

Determining Elastoplastic Properties of Thin Film from Loading and Unloading Curve of Sharp Indentation

著者 (4件)： 小笠原永久 (防衛大学校 システム工学群) ,  千葉矩正 (防衛大学校 システム工学群) ,  山田浩之 (防衛大学校 システム工学群) ,  CHEN Xi (Columbia Univ., NY, USA)
資料名： 実験力学  (JSEM)
巻： 12  号： 1  ページ： 26-32  発行年： 2012年03月28日 
JST資料番号： L4590A  ISSN： 1346-4930  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 新しい薄膜の機械的特性の計測方法として,円錐圧子押込みを用いた薄膜材料の弾塑性特性評価方法を提案した。本方法は,基板効果を積極的に使用する方法を拡張し,硬い基板上の軟らかい金属薄膜の条件下で圧子押込みによる負荷除荷曲線を利用して薄膜材料の弾塑性特性(Young率,降伏応力,加工硬化指数)を得た。負荷曲線の押込み依存性に着目し,弾塑性特性を変えた系統的な有限要素解析の結果から弾塑性特性材料パラメータ空間の応答曲面を表わした。実験で得られた荷重-押込み深さ関係をこの曲線上に当てはめて薄膜材料の弾塑性を得た。

シソーラス用語： 圧子 ,  *押込 ,  負荷曲線 ,  除荷 ,  *金属薄膜 ,  *弾塑性 ,  Young率 ,  降伏応力 ,  n値【加工硬化】 ,  数値解析 ,  応答曲面法
準シソーラス用語： 加工硬化指数 ,  有限要素解析

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (13件)：

• CHENG, Y. T. Scaling, Dimensional Analysis, and Indentation Measurements. Mater. Sci. Eng., R. 2004, 44, 91-149
• DAO, M. Computational Modeling of the Forward and Reverse Problems in Instrumented Sharp Indentation. Acta Mater. 2001, 49, 3899-3918
• OGASAWARA, N. Limit Analysis-Based Approach to Determine the Material plastic Properties with Conical Indentation. J. Mate. Res. 2006, 21, 947-957
• CHENG, X. Numerical Study on the Measurement of Thin Film Mechanical Properties by Means of Indentation. J. Mater. Res. 2001, 16, 2974-2982
• CHIBA, N. Critical Penetration Depth for Nano/Micro Indentation Test to Determine Elastic-Plastic Film Properties Deposited on Hard Substrates. Proc. 8th Biennial ASME Conference on Engineering Systems Design and Analysis, 2006. 2006

タイトルに関連する用語 (7件)： 圧子 ,  押込み ,  除荷 ,  曲線 ,  薄膜材料 ,  弾塑性 ,  特性評価