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J-GLOBAL ID:201202235525827385   整理番号:12A0667823

水系薄膜技術による光学薄膜の形成-ウェットプロセスによる低環境負荷ナノコーティング-

Formation of optical thin film by Water Based Thin Film Process-(Eco friendly nanocoating by wet process)-
著者 (2件):
資料名:
巻: 36  号: 11(IDY2012 11-16)  ページ: 1-8  発行年: 2012年02月24日 
JST資料番号: S0209A  ISSN: 1342-6893  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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真空プロセスを用いずに水系でしかも常温,常圧で製膜できるウェットプロセスとして交互吸着法,スプレー交互吸着法があり,近年研究が活発化している。なかでも,ディスプレイ,光学部材に適応される光学薄膜は,高真空を有するドライプロセスから,より簡易的なウェットプロセスによる光学薄膜が期待される。本研究では,交互吸着法により全水系プロセスで膜厚および屈折率をナノスケールオーダーで制御した光学薄膜を報告する。(著者抄録)
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分類 (2件):
分類
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その他の無機化合物の薄膜  ,  各種物理的手法 
引用文献 (23件):
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