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J-GLOBAL ID：201202236032350268   整理番号：12A0791014

ナノ流路の製作と実験的特性評価

Fabrication and Experimental Characterization of Nanochannels

著者 (7件)： PHAN Vinh-Nguyen (Nayang Technological Univ., Singapore) ,  NGUYEN Nam-Trung (Nayang Technological Univ., Singapore) ,  YANG Chun (Nayang Technological Univ., Singapore) ,  JOSEPH Pierre ,  JOSEPH Pierre ,  GUE Anne-Marie ,  GUE Anne-Marie
資料名： Journal of Heat Transfer  (Journal of Heat Transfer)
巻： 134  号： 5  ページ： 051012.1-051012.6  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： C0658A  ISSN： 0022-1481  CODEN： JHTRAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノフルイディクスは1~100nmの範囲と定義されるナノ尺度における少なくとも1次元を有する構造の内部あるいはその周囲の流れの関与する技術である。シリコンとガラスを用いたナノ流路の製作と特性評価について示した。深さ45nm及び低いアスペクト比の範囲0.004~0.01の密封型の平面状ナノ流路アレイの製作を可能とした。このデバイスはナノ流路と微細流路の両方を含む。ナノ流路は反応性イオンエッチング(RIE)により,微細流路とアクセス孔は深奥RIEにより製作した。イソプロパノールと水を用いて充填実験を行った。その結果から充填速度はWashburn理論により予測されるよりも遅くなることを示した。液体の見かけの粘性はバルク数値よりも20~40%高くなることも確認した。

シソーラス用語： チャネル ,  ナノ構造 ,  評価試験 ,  *キャラクタリゼーション ,  フルイディクス ,  深さ ,  アスペクト比 ,  *RIE【エッチング】 ,  水 ,  粘性 ,  脂肪族アルコール ,  *マイクロチャネル ,  マイクロフルイディクス
準シソーラス用語： *ナノ流路 ,  ナノフルイディクス

分類 (2件)： 管内流  (BC02090Q) ,  応用物理化学的操作・装置  (XE03000E)

物質索引 (1件)： イソプロパノール

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノ流路 ,  製作 ,  実験 ,  特性評価