文献

J-GLOBAL ID：201202237686392853   整理番号：12A0597746

研磨による無反りウエハの創成(第1報)-冷凍ピンチャックの凝固変形と凝固保持特性-

著者 (4件)： 竹鼻亮道 (防衛大) ,  宇根篤暢 (防衛大) ,  吉冨健一郎 (防衛大) ,  餅田正秋 (防衛大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.J34  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では無反りウエハ創成技術の開発を進めている。本報ではピン直径0.5mm,ピッチ1mmのSiC製冷凍ピンチャックに対する冷凍液塗布前後および凝固前後における300mm石英ウエハの形状差を明らかにした。また,凝固固着時における冷凍液のせん断応力および引張応力の測定結果は,それぞれ1200kPa,1800kPaであり,研磨温度30°Cの場合も剥離させずに研磨できることを明らかにした。(著者抄録)

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  *研磨 ,  *反り ,  *石英 ,  剪断応力 ,  引張応力 ,  剥離 ,  付着 ,  凝固
準シソーラス用語： 固着

分類 (2件)： 研削  (QC03000R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 研磨 ,  反り ,  ウエハ ,  創成 ,  冷凍 ,  チャック ,  凝固 ,  保持特性