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J-GLOBAL ID：201202238689574975   整理番号：12A0873971

容量性MEMSスイッチにおける劣化機構の実験的隔離

Experimental isolation of degradation mechanisms in capacitive microelectromechanical switches

著者 (5件)： OLSZEWSKI Z. (Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Dyke Parade, Cork, Ireland) ,  HOULIHAN R. (Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Dyke Parade, Cork, Ireland) ,  RYAN C. (Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Dyke Parade, Cork, Ireland) ,  O’MAHONY C. (Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Dyke Parade, Cork, Ireland) ,  DUANE R. (Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Dyke Parade, Cork, Ireland)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 100  号： 23  ページ： 233505-233505-4  発行年： 2012年06月04日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： DCおよび両極性電圧ストレスを用いて,MEMS容量性スイッチにおける可動電極の機械的劣化を充電機構から隔離した。可動電極として異なる金属を持つスイッチを調べた。チタンスイッチでは,引き込み電圧の変化を観測した。同様な誘電体だがアルミニウムから作成したスイッチについては,用いるバイアスがDCか両極性かにかかわらず狭隘化が生じた。このことは,機構の原因として機械的な劣化が起こっていることを示唆している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロスイッチ ,  *機構 ,  電極
準シソーラス用語： *MEMSスイッチ ,  *劣化機構

分類 (1件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 容量性 ,  MEMSスイッチ ,  実験 ,  隔離