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J-GLOBAL ID：201202239248498153   整理番号：12A1450549

高度に(00l)配向したSb₂Te₃薄膜の製作と関連する強化した性能を持つ熱電デバイス

Fabrication of Highly (0 0 l)-Textured Sb₂Te₃ Film and Corresponding Thermoelectric Device with Enhanced Performance

著者 (6件)： TAN Ming (Beihang Univ., Beijing Key Lab. of Special Functional Materials and Film, School of Materials Sci. and Engineering ...) ,  DENG Yuan (Beihang Univ., Beijing Key Lab. of Special Functional Materials and Film, School of Materials Sci. and Engineering ...) ,  WANG Yao (Beihang Univ., Beijing Key Lab. of Special Functional Materials and Film, School of Materials Sci. and Engineering ...) ,  LUO Bingwei (Beihang Univ., Beijing Key Lab. of Special Functional Materials and Film, School of Materials Sci. and Engineering ...) ,  LIANG Lixing (Beihang Univ., Beijing Key Lab. of Special Functional Materials and Film, School of Materials Sci. and Engineering ...) ,  CAO Lili (Beihang Univ., Beijing Key Lab. of Special Functional Materials and Film, School of Materials Sci. and Engineering ...)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 41  号： 11  ページ： 3031-3038  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリング法による層状構造を持つ高度に(00l)配向したSb₂Te₃薄膜の製作方法について報告した。X線回折,エネルギー分散X線分光法を持つ走査電子顕微鏡法,および熱電(TE)測定装置により,この薄膜の組成,微細構造,および熱電性質をそれぞれ評価した。その結果,層状構造を持つよく配向した(00l)Sb₂Te₃薄膜が熱電性質の改良に有効であり,プレーナTEデバイスの期待できる選択肢であることが分かった。層状p-Sb₂Te₃薄膜デバイスの発電と冷却性能は一般的な薄膜デバイスより優れている。38層Sb₂Te₃薄膜素子による代表的並列デバイスでは,温度差76Kに対して,出力電圧,最大出力,および相当した電力密度はそれぞれ10.3mV,11.1μW,および73mW/cm²までであった。このデバイスは電流45mAで最大温度差6.1Kを出すことができた。この結果は,層状アーキテクチャを持つ(00l)配向Sb₂Te₃薄膜を集積することによりマイクロデバイスの性能を強化できることを証明した。Copyright 2012 TMS Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  *熱電素子 ,  アンチモン化合物 ,  テルル化物 ,  層状組織 ,  X線回折 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  電子顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  熱電気変換 ,  温度分布 ,  エネルギー密度 ,  電力 ,  結晶方位
準シソーラス用語： エネルギー分散X線分光法 ,  *テルル化アンチモン ,  温度差 ,  層状構造 ,  走査電子顕微鏡法 ,  電力密度 ,  熱電デバイス

分類 (1件)： 熱電デバイス  (NC03090J)

タイトルに関連する用語 (5件)： 配向 ,  薄膜 ,  製作 ,  強化 ,  熱電デバイス