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J-GLOBAL ID：201202239598187290   整理番号：12A1429686

特化した有限要素法に基づく正確な光学CDプロファイラ

Accurate Optical CD Profiler Based On Specialized Finite Element Method

著者 (2件)： CARRERO Jesus (Luminescent Technol., CA, USA) ,  PERCIN Goekhan (Luminescent Technol., CA, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8324  号： Pt.1  ページ： 83240P.1-83240P.7  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体集積回路のパターンが小さくなるにつれ,計測の問題も複雑になってきた。先端的光学クリティカルディメンジョン(OCD)装置を補完する一組の計算機法を開発し,OCDプロファイルを正確にモデル化する新しい方法を示した。一次形式の有限要素定式化を用いて方程式を離散化した。特化した有限要素空間を用いて,Maxwell方程式を二次元で解いた。種々のCDプロファイルに対する結果を示した。横電場及び横磁場の場合に対して,与えられた光学格子に対応する偏光シフト成分の計算結果を示した。

シソーラス用語： *有限要素法 ,  半導体集積回路 ,  *回路パターン形成 ,  *長さ ,  数学的変換 ,  Maxwell方程式 ,  計測 ,  偏光解析法 ,  計算機シミュレーション
準シソーラス用語： *クリティカルディメンジョン ,  散乱測定 ,  離散化

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 特化 ,  有限要素法 ,  光学 ,  Cd ,  プロファイラ