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J-GLOBAL ID：201202239659496763   整理番号：12A0078876

液体中でマイクロ波プラズマを発生させるために使用される電極からの金属汚染を防止するための改良

Improvement in preventing metal contamination from an electrode used for generating microwave plasma in liquid

著者 (5件)： HATTORI Yoshiaki ,  MUKASA Shinobu ,  TOYOTA Hiromichi ,  YAMASHITA Hiroshi ,  NOMURA Shinfuku
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 206  号： 8-9  ページ： 2140-2145  発行年： 2012年01月15日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 液体中にマイクロ波プラズマを発生させるための通常の裸の金属電極のエロージョンを調べた。プラズマのスペクトル,電極の表面温度及びエロージョン速度を各々分光器,放射温度計及び分析天秤で測定した。金属電極のエロージョンを示すスペクトル線の強度と侵食速度はマイクロ波出力に依存した。金属汚染を避けるため誘電体材料上にマイクロ波プラズマを発生する同軸電極を開発した。金属電極はアルミナ閉管で包み込んだ。アルミナ閉管の側面は更に開放テフロンチューブで覆った。二次元有限差分時間領域(2D-FDTD)法で求めたアルミナ閉管,テフロン開放チューブ及び液が交差する点で電場は最強となることが確認された。エタノール中で非晶質炭素析出物の合成を行った。開発した電極は,スムーズな析出による合成が可能であった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： プラズマ ,  有限差分時間領域法 ,  環境汚染 ,  *プラズマ装置 ,  プラズマ生成 ,  *電極 ,  放電 ,  アルミナ ,  セラミック ,  ポリテトラフルオロエチレン ,  プラスチック管 ,  炭素材 ,  プラズマ合成 ,  堆積 ,  誘電材料 ,  摩耗 ,  浸食 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： マイクロ波プラズマ ,  金属汚染 ,  液中放電 ,  セラミック管 ,  非晶質炭素 ,  銅電極

分類 (3件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  液体・固体中の放電  (BJ03030E)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (3件)： 液体中 ,  マイクロ波プラズマ ,  金属汚染