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J-GLOBAL ID：201202240157222374   整理番号：12A0460807

揺動電子顕微鏡法におけるプローブ寸法と構造相関長の関係を調べるための多結晶薄膜モデルの試験

Examination of a Polycrystalline Thin-Film Model to Explore the Relation between Probe Size and Structural Correlation Length in Fluctuation Electron Microscopy

著者 (2件)： TREACY M.M.J. (Arizona State Univ., AZ, USA) ,  GIBSON J.M. (Northeastern Univ., MA, USA)
資料名： Microscopy and Microanalysis  (Microscopy and Microanalysis)
巻： 18  号： 1  ページ： 241-253  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： W1587A  ISSN： 1431-9276  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 揺動電子顕微鏡法(FEM)が無秩序材料における中距離秩序の存在に感度があることは著者らによって既に報告されている。本論文では,ターゲット構造としてアモルファスシリコンを用いてStrattonとVoylesのアプローチを拡張する。箱中にランダムな点のVoronoi分割モザイクによるモデルを作りシミュレーションを行った。揺動電子顕微鏡実験で得られた強度分散を規格化して調べ,強度揺動は材料中の結晶粒の比率とともに単調に増加するが,欠陥のない100%結晶化した材料では異常に増大することを確認した。ここで扱う理想的なシミュレーションに比べて,実験では電子散乱のデコヒーレンスが実験の分散を著しく抑える。

シソーラス用語： *アモルファスシリコン ,  電子回折 ,  *電子顕微鏡観察 ,  結晶粒 ,  結晶粒径 ,  分布関数 ,  分散【variance】 ,  薄膜 ,  多結晶 ,  相関長 ,  分割 ,  シミュレーションモデル ,  シミュレーション ,  ネットワーク ,  無秩序系
準シソーラス用語： Voronoi分割 ,  ランダムネットワーク ,  多結晶薄膜 ,  対分布関数

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 揺動 ,  電子顕微鏡法 ,  プローブ ,  相関長 ,  多結晶薄膜 ,  モデル ,  試験