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J-GLOBAL ID：201202241975912595   整理番号：12A0875698

プルイン方式による表面マイクロマシン加工ポリシリコン梁の熱膨張係数のためのオンライン試験構造

An online test structure for the thermal expansion coefficient of surface micromachined polysilicon beams by a pull-in approach

著者 (4件)： LIU Hai-Yun (Southeast Univ., Nanjing, CHN) ,  ZHOU Zai-Fa (Southeast Univ., Nanjing, CHN) ,  LI Wei-Hua (Southeast Univ., Nanjing, CHN) ,  HUANG Qing-An (Southeast Univ., Nanjing, CHN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 5  ページ： 055017,1-8  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,マイクロマシン加工ポリシリコン薄膜の熱膨張係数の決定のための電気試験構造を提案した。測定変位または検出を使う代わりに,試験構造の電気熱特性とプルイン法を利用した。解析構造は,ポリシリコンの幾何パラメータと熱伝導率に直接関連した。この構造で,ポリシリコン梁を,2つのアンカ間に直接の電流電圧を適用することにより加熱し,同時に,プルイン電圧を梁と基板間に他の変化する電圧を適用することにより測定した。すなわち,光学または目視読取の代わりに,通常のウェーハプローブ試験装置を使ったウェーハレベルに適した,電気読取を使用した。抽出法の有効化と精度をFEMシミュレーションと実験により実証した。この方法は生産プロセスラインでの応用の可能性を持った。

シソーラス用語： マイクロマシン ,  *ポリシリコン ,  *梁 ,  *熱膨張係数 ,  計測 ,  薄膜 ,  電気試験 ,  熱伝導率 ,  有限要素法 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： *オンライン計測

分類 (1件)： その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロマシン加工 ,  ポリシリコン ,  梁 ,  熱膨張係数 ,  オンライン ,  試験