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J-GLOBAL ID：201202242309976500   整理番号：12A0887075

レーザイオン化質量ナノスコープ(LIMAS)の開発

Development of laser ionization mass nanoscope (LIMAS)

著者 (9件)： EBATA Shingo (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  EBATA Shingo (Osaka Univ., Toyonaka, JPN) ,  ISHIHARA Morio (Osaka Univ., Toyonaka, JPN) ,  UCHINO Kiichiro (Kyushu Univ., Kasuga, JPN) ,  ITOSE Satoru (JEOL Ltd., Akishima, JPN) ,  MATSUYA Miyuki (JEOL Ltd., Akishima, JPN) ,  KUDO Masato (JEOL Ltd., Akishima, JPN) ,  BAJO Ken-ichi (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  YURIMOTO Hisayoshi (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 44  号： 6  ページ： 635-640  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノビーム飛行時間型二次中性質量分析システム(レーザイオン化質量ナノスコープあるいはLIMAS)を開発した。一次イオンビームビームカラムにGa液体金属イオン源と収差補正光学系を装着した。一次イオンビーム(20keV,100pA)は直径40nm以下に調整した。非共鳴モードのフェムト秒レーザによってポストイオン化したスパッタ粒子イオンをマルチターン質量分析計に導入した。本質量分析計の質量分解能は最大40000に達した。試料室は超高真空(2×10^-8Paを保つことができた。この装置は小惑星,彗星あるいは惑星から持ち帰った試料中のナノサイズ粒子の超高感度分析に有効である。

シソーラス用語： *質量分析 ,  質量分析計 ,  *ナノ粒子 ,  宇宙空間
準シソーラス用語： ポストイオン化 ,  *レーザイオン化質量分析 ,  飛行時間型質量分析計

分類 (2件)： 光化学一般  (CB08010U) ,  質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ ,  イオン化 ,  質量 ,  開発