文献

J-GLOBAL ID：201202242335575300   整理番号：12A1092706

イオン援助マイクロ波プラズマCVDを使用したポリマ基材上カーボンナノ材料の低温成長

Low Temperature Growth of Carbon Nanomaterials on the Polymer Substrate Using Ion Assisted Microwave Plasma CVD

著者 (6件)： BEKAREVICH Raman (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  BEKAREVICH Raman (Homel State Univ., Homel, BLR) ,  MIURA Shota (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  OGINO Akihisa (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  ROGACHEV Aleksandr V. (Homel State Univ., Homel, BLR) ,  NAGATSU Masaaki (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 25  号： 4  ページ： 545-549  発行年： 2012年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,マイクロ波表面波プラズマCVD手法により,230~260°Cの比較的低温で,ケイ素及びポリイミド基材上にカーボンナノチューブ及び少層グラフェンシートの首尾良い成長を示した。NH₃/CH₄プラズマ中カーボンナノ材料(CNMs)成長用触媒としてグラフェン封入Niナノ粒子を使用した。高解像度透過型電子顕微鏡(TEM)解析の結果は,CNMsの構造に対する基材の影響を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  蒸着膜 ,  母材 ,  *カーボンナノチューブ ,  *炭素材 ,  アンモニア ,  ニッケル ,  ナノ粒子 ,  触媒活性 ,  電子顕微鏡観察 ,  化学蒸着 ,  アルカン ,  *グラフェン
準シソーラス用語： *グラフェンシート ,  マイクロ波プラズマCVD

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

物質索引 (1件)： メタン

引用文献 (32件)：

• 1. S. Iijima, Nature 354 (1991) 56-58.
• 2. P. Ayala, R.Arenal, A. Loiseau, A. Rubio, T Pichler, Rev. Mod. Phys. 82 (2010) 1843-85.
• 3. P. R. Bandaru, J. Nanosci. Nanotechno. 7 (2007) 1239-67.
• 4. J. A. Kim, D. G. Seong, T. J. Kang, J. R. Youn, Carbon 44 (2006) 1898-905.
• 5. K. S. Novoselov, A. K. Geim, S. V. Morozov, D. Jiang, Science 36 (2004) 666-9.

タイトルに関連する用語 (6件)： イオン ,  援助 ,  マイクロ波プラズマCVD ,  ポリマ ,  カーボンナノ材料 ,  低温成長