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J-GLOBAL ID：201202243691686440   整理番号：12A1650154

オンチップ真空のためのSiマイクロマシニング加工した48ステージKnudsenポンプ

A Si-micromachined 48-stage Knudsen pump for on-chip vacuum

著者 (3件)： GUPTA Naveen K (Univ. Michigan, MI, USA) ,  AN Seungdo (Univ. Michigan, MI, USA) ,  GIANCHANDANI Yogesh B (Univ. Michigan, MI, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 10  ページ： 105026,1-8  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Knudsenポンプは駆動部分が無い熱分子(thermomolecular)ポンプであり,オンチップマイクロフルイディクスアプリケーションで高精度なキャビティ圧低減が可能である。本稿では,5マスクシングルウエハ構造を使った,Piraniゲージを集積したマイクロマシニング加工した48ステージKnudsenポンプについて報告した。このポンプは直列に接続した多段設計を使い,フットプリントが10.35×11.45mm²で,入力1350mWにより760Torrから約50Torrにできた。さらに動作媒質として空気を使って250Torrから5Torrまで真空引きができた。

シソーラス用語： 流動 ,  マイクロマシニング ,  *真空ポンプ ,  ウエハ【IC】 ,  真空計 ,  範囲 ,  空洞 ,  *フルイディクス ,  マイクロフルイディクス
準シソーラス用語： *Knudsen流 ,  Pirani真空計 ,  キャビティ ,  フットプリント

分類 (2件)： 流体式制御機器  (IC02030J) ,  真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (5件)： オンチップ ,  真空 ,  Si ,  マイクロマシニング加工 ,  ステージ