超高純度気体雰囲気で試験したPtコートおよびRuO<sub>2</sub>コートしたマイクロリレーの設計,製作,性能および信頼性

DE BOER M P; CZAPLEWSKI D A; BAKER M S; WOLFLEY S L; OHLHAUSEN J A

文献

J-GLOBAL ID：201202243782741664 整理番号：12A1650155

超高純度気体雰囲気で試験したPtコートおよびRuO₂コートしたマイクロリレーの設計,製作,性能および信頼性

Design, fabrication, performance and reliability of Pt- and RuO₂-coated microrelays tested in ultra-high purity gas environments

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資料名：
巻： 22 号： 10 ページ： 105027,1-15 発行年： 2012年10月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

Ohm接触マイクロスイッチは携帯電話など各種の通信機器への応用が期待されている。本稿では,各種のマイクロスイッチ材料の比較を行った。4種類のコーティング,即ちPt/Ti,RuO₂/Ti(反応性同時スパッタリングと酸化法)およびRuO₂/Al/Tiについて調べた。これらを超真空ベーク後超純度気体中でサイクル試験を行った。Ptコートスイッチは10⁵サイクルで劣化したが,RuO₂コートスイッチは10⁸サイクルまで劣化が無かった。Ptコートスイッチの信頼性劣化は表面摩耗によるものである。Al下地を使ったRuO₂スイッチは抵抗が10倍低下した。RuO₂は炭化水素汚染に強いので,これらの実験結果からマイクロスイッチ材料として期待できる。

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継電器・スイッチ

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超高純度気体雰囲気で試験したPtコートおよびRuO2コートしたマイクロリレーの設計,製作,性能および信頼性

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