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J-GLOBAL ID：201202243875085937   整理番号：12A1738540

ナノスケールチップを与えられた細線アレイはナノ粒子の電気的トラップおよび深度注入を増強する

Nanoscale tipped microwire arrays enhance electrical trap and depth injection of nanoparticles

著者 (5件)： GORYU Akihiro (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  NUMANO Rika (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  IKEDO Akihito (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  ISHIDA Makoto (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  KAWANO Takeshi (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 41  ページ： 415301,1-7  発行年： 2012年10月19日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 気体-液体-固体成長シリコン細線のチップへの異方性シリコンエッチングにより,ナノスケールチップを与えられた細線を形成した。金属(例,PtおよびAu)で細線をコーティングした後,フォトレジストスプレーコーティングおよびその後のフォトレジストエッチング循環により外殻(例,二酸化ケイ素およびパリレン)からナノチップ部分のみを曝露することができた。有望なデバイス応用として,Auナノチップ細線アレイを用いた溶液におけるポリスチレンナノ粒子のトラッピングを示した。とがらせられたナノチップは,150nmの曲率半径および4.2μm²の電極面積を持っていた。このナノチップは,20nmの低いトラッピング電圧を持つ局部的に増強されたトラッピング能力を示した。さらに,これらのトラッピングされたナノ粒子は軟材料(ゼラチン)に注入することができ,ナノ粒子の多重サイト広域バッチ深度注入および集合を示した。

シソーラス用語： 規模 ,  *ナノ構造 ,  *チップ ,  *細線 ,  アレイ ,  *ナノ粒子 ,  電子 ,  *捕獲 ,  注入 ,  気体 ,  液体 ,  固体 ,  ケイ素 ,  エッチング ,  異方性 ,  白金 ,  金 ,  被覆 ,  フォトレジスト ,  スプレー塗装 ,  二酸化ケイ素 ,  ポリキシリレン ,  溶液 ,  ポリスチレン ,  半径 ,  曲率 ,  面積 ,  電極 ,  電圧 ,  ゼラチン
準シソーラス用語： Au ,  Parylene ,  Pt ,  コーティング ,  シリコン ,  スプレーコーティング ,  *トラップ【固体】 ,  *ナノスケール ,  異方性エッチング ,  曲率半径 ,  電極面積

分類 (3件)： 無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の電気・電子部品  (NA05090R)

タイトルに関連する用語 (7件)： 細線 ,  アレイ ,  ナノ粒子 ,  トラップ ,  深度 ,  注入 ,  増強