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J-GLOBAL ID：201202244074345798   整理番号：12A1516413

自己無撞着高周波伝播と周辺直流プラズマバイアス:“幅広シース”漸近レジームの簡略化された三次元非線形処理

Self consistent radio-frequency wave propagation and peripheral direct current plasma biasing: Simplified three dimensional non-linear treatment in the “wide sheath” asymptotic regime

著者 (8件)： COLAS L. (CEA, IRFM, F-13108 Saint-Paul-lez-Durance, FRA) ,  JACQUOT J. (CEA, IRFM, F-13108 Saint-Paul-lez-Durance, FRA) ,  HEURAUX S. (IJL-P2M UMR 7198 CNRS, F-54506 Vandoeuvre les Nancy, FRA) ,  FAUDOT E. (IJL-P2M UMR 7198 CNRS, F-54506 Vandoeuvre les Nancy, FRA) ,  CROMBE K. (Dep. of Applied Physics, Ghent Univ., B-9000 Ghent, BEL) ,  KYRYTSYA V. (LPP-ERM/KMS, Assoc. Euratom-′′Belgian State,′′ TEC Partner, Brussels, BEL) ,  HILLAIRET J. (CEA, IRFM, F-13108 Saint-Paul-lez-Durance, FRA) ,  GONICHE M. (CEA, IRFM, F-13108 Saint-Paul-lez-Durance, FRA)
資料名： Physics of Plasmas  (Physics of Plasmas)
巻： 19  号： 9  ページ： 092505-092505-15  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： T0641B  ISSN： 1070-664X  CODEN： PHPAEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (9件)： 自己 ,  無撞着 ,  伝播 ,  周辺 ,  直流プラズマ ,  幅広 ,  シース ,  簡略化 ,  非線形処理