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J-GLOBAL ID：201202244329896424   整理番号：12A0960617

金属ナノ構造のインプリントパターンプロファイルに依存する光学的特性

Imprinted Pattern Profile-Dependent Optical Properties of Metal Nanostructures

著者 (8件)： CHOI Jun-Hyuk (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  PARK Seong-Je (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  LEE Ji-Hye (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  KIM Chul-Hyun (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  JEONG Jun-Ho (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  CHOI Dae-Geun (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  LEE Eung-Sug (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  JEONG Jong-Ryul (Chungnam National Univ., Daejeon, KOR)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 6,Issue 2  ページ： 06FJ02.1-06FJ02.5  発行年： 2012年06月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CHF₃ベースの反応性イオンエッチにより,インプラントしたままの右端柱構造をテーパのある側壁プロファイルに再構築した。長時間エッチにより側壁の先細度を高めると,透過率スペクトルが改善した。回折散乱損失の低減により,460から470nmの波長域における透過トレンチゾーンにおいて効果が最も顕著(28.4%)である。先細の側壁構造では,銀を被覆した波状ナノ構造の透過率の増大はさらに大きく(57.0%),シミュレーションの予測と良く一致する。赤外透過率はUV-可視領域に比べて顕著な低下を示し,本構造の熱絶縁性窓への応用可能性が示唆された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  柱 ,  側壁 ,  テーパ構造 ,  *RIE【エッチング】 ,  *透過率 ,  溝 ,  波形 ,  赤外線 ,  可視光 ,  光学窓 ,  断熱材料 ,  金属薄膜 ,  銀 ,  高分子 ,  ナノメータ加工 ,  パターン転写 ,  フロン ,  トリハロメタン
準シソーラス用語： トレンチ ,  ナノピラー ,  *光透過率

分類 (1件)： 光物性一般  (BM08010A)

物質索引 (1件)： トリフルオロメタン

引用文献 (30件)：

• 1) S. Chattopadhyay, Y. F. Huang, Y. J. Jen, A. Ganguly, K. H. Chen, and L. C. Chen: Mater. Sci. Eng. R 69 (2010) 1.
• 2) Y. Li, J. H. Zhang, and B. Yang: Nano Today 5 (2010) 117.
• 3) S. J. Wilson and M. C. Hutley: Opt. Acta 29 (1982) 993.
• 4) H. Yoshida, Y. Terada, H. Miyake, and K. Hiramatsu: Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) L1134.
• 5) C. J. Ting, C. F. Chen, and C. J. Hsu: Optik 121 (2010) 1877.

タイトルに関連する用語 (2件)： 金属ナノ構造 ,  光学的特性