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J-GLOBAL ID：201202245841239679   整理番号：12A1584271

18%を超える効率をもつ反応性イオンエッチングを用いて作製した工業用6インチ多結晶シリコン太陽電池

Industrial 6 Inch Multicrystalline Silicon Solar Cells Fabricated Using Reactive Ion Etching with Efficiency Exceeding 18%

著者 (9件)： SHIM Ji-Myung (Shinsung Solar Energy, Gyeonggi, KOR) ,  LEE Hyun-Woo (Shinsung Solar Energy, Gyeonggi, KOR) ,  CHO Kyeong-Yeon (Shinsung Solar Energy, Gyeonggi, KOR) ,  LEE Eun-Joo (Shinsung Solar Energy, Gyeonggi, KOR) ,  KIM Ji-Soo (Shinsung Solar Energy, Gyeonggi, KOR) ,  KONG Ji-Hyun (Shinsung Solar Energy, Gyeonggi, KOR) ,  JO Soo-Jeong (Shinsung Solar Energy, Gyeonggi, KOR) ,  KIM Ji-Sun (Shinsung Solar Energy, Gyeonggi, KOR) ,  LEE Hae-Seok (Shinsung Solar Energy, Gyeonggi, KOR)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 10,Issue 2  ページ： 10NA14.1-10NA14.4  発行年： 2012年10月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： より低い反射率を得るために,酸集合組織化多結晶シリコン(mc-Si)ウエハに反応性イオンエッチング(RIE)による無マスクプラズマ集合組織化技法を適用した。RIE集合組織化は,卓越した低反射率をもつ深いそして狭い集合組織化表面を生成した。プラズマ誘起損傷のために,RIE集合組織化表面に適切な損傷除去エッチング(DRE)を施さなければ,その表面は開回路電圧(V_oc)および曲線因子(FF)の低下を示す。適切なDREを施したRIE集合組織化試料は,V_ocの低下なしに酸集合組織化試料よりも十分に高い短絡回路電流(I_sc)を示した。本研究では,選択的エミッター構造に最適化DRE条件下でRIE集合組織化を適用した。酸集合組織化太陽電池と比較して,RIE集合組織化太陽電池は200mAを超えるI_scの絶対的利得をもっている。RIE技術を用いた選択的エミッター技術を適用することにより18%を超える変換効率をもつ6インチmc-Si太陽電池を作製することに成功した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *RIE【エッチング】 ,  ケイ素 ,  *太陽電池 ,  *ポリシリコン ,  ウエハ【IC】 ,  テキスチャード加工 ,  反射防止膜 ,  光反射 ,  反射率 ,  *量子効率 ,  表面構造
準シソーラス用語： シリコン基板 ,  外部量子効率 ,  結晶シリコン太陽電池 ,  光反射率 ,  反応性イオンエッチング

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (21件)：

• 1) H.F.W. Dekker, F. Duerinckx, J. Szlufcik, and J. Niss: Opto-Electron. Rev.8(2000)311.
• 2) N.S. Zin, A. Blakers, K. Weber, and C. Zhang: Proc. 34th IEEE Photovoltaic Specialists Conf., 2009,p.39.
• 3) D. Macdonald, A. Cuevas,'M. Kerr, C. Samundsett, D. Ruby, S. Winderbaum, and A. Leo: Sol. Energy 76(2004)277.
• 4) D.J. Thomas, P. Southworth, M.C. Flowers, and R. Greef: J. Vac. Sci. Technol. 8(1990)516.
• 5) J.I. Gittleman, E.K. Sichel, H.W. Lehmann, and R. Widmer: Appl. Phys. Lett. 35(1979)742.

タイトルに関連する用語 (4件)： 反応性イオンエッチング ,  作製 ,  工業 ,  多結晶シリコン太陽電池