文献

J-GLOBAL ID：201202246493960357   整理番号：12A0586084

光電子回折分光法と立体原子写真による元素・層・サイト依存状態解析

著者 (5件)： 松井文彦 (奈良先端科学技術大学院大) ,  前島尚行 (奈良先端科学技術大学院大) ,  松井公佑 (奈良先端科学技術大学院大) ,  松下智裕 (JASRI) ,  大門寛 (奈良先端科学技術大学院大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 59th  ページ： ROMBUNNO.15P-F3-2  発行年： 2012年02月29日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光電子回折 ,  配列 ,  立体写真 ,  光電子分光法 ,  積層欠陥 ,  *表面準位 ,  炭化ケイ素 ,  ケイ素化合物 ,  酸化物 ,  窒化物 ,  *絶縁膜
準シソーラス用語： SiC ,  SiON ,  界面準位 ,  原子配列

分類 (2件)： 半導体の表面構造  (BK15030A) ,  電子分光法  (BK01050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： 光電子回折 ,  分光法 ,  立体 ,  原子 ,  写真 ,  元素 ,  層 ,  解析