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J-GLOBAL ID：201202247659189766   整理番号：12A0795845

電子及びフォトニックデバイス用市販基板の欠陥のコンピューテーショナルイメージング

Computational imaging of defects in commercial substrates for electronic and photonic devices

著者 (3件)： FUKUZAWA Masayuki (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  KASHIWAGI Ryo (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  YAMADA Masayoshi (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8296  ページ： 829616.1-829616.7  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 基板の欠陥に起因する少量の複屈折の検出に基づく電子及びフォトニック素子用基板の欠陥イメージング手法を提案した。この手法は,光透過全体プロフィル(TP)の収集,及びプロフィルからの複屈折の計算的抽出から成る。TP収集系は,基板照射用コリメート可視光ビーム,計算制御偏光子と検光子,高感度カメラから成り,画像系列によってTPを表現する。GaP,LN,及びSiC基板を用いた実験を行い,従来手法が検出できなかった欠陥を検出できた。

シソーラス用語： 基板 ,  *半導体材料 ,  *欠陥検査 ,  光透過 ,  複屈折 ,  光学系 ,  光学的測定 ,  画像処理 ,  光学画像 ,  *フォトニック結晶
準シソーラス用語： プロフィール ,  欠陥検出 ,  光イメージング

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電子 ,  フォトニックデバイス ,  欠陥